המתמחה במערכות מדידה עבור תעשיית המוליכים למחצה, פיתחה, בשילוב עם חברת סוקודו (Sokudo) פתרון מדידה חדש המשולב בתהליך הפוטו-ליתוגרפיה בתעשיית המוליכים למחצה. מהחברה נמסר כי אספקת המערכת ללקוחות החלה כבר בינואר השנה.
הפתרון, שפותח בשיתוף עם חברת סוקודו - הנמצאת בבעלות משותפת של חברת ושל חברת דייניפון סקרין מיפאן - מאפשר לבצע מדידות על גבי פרוסת הסיליקון, מיד לאחר הטבעת המידע.
לדברי דוד שיינר, סמנכ"ל התפעול בחברה, נאלצו עד כה יצרני השבבים לרכז את פרוסות הסיליקון בקבוצות של 25 יחידות ולהעבירן למכונה ייעודית, במטרה לבצע את המדידות.
הפתרון החדש מאפשר לבצע את המדידות באופן אינטגרלי, באותה מכונה אשר מטביעה את המידע על גבי פרוסות הסיליקון, כך שכל תהליך המדידה וקבלת המשוב על איכות ההדפסה ייארך לא יותר מכמה שניות, בניגוד לפרקי זמן של דקות עד שעות, שהיו נהוגים עד כה.
לדברי החברה, פתרונות ה-Integrated Metrology NovaScan זמינים כעת על משפחת מערכות ה-RF3 של חברת סוקודו, המשמשות בתהליך הפוטו-ליתוגרפיה לייצור מעגלים משולבים.
לטענתם, שילוב הפתרונות של נובה במערכות ה-RF3 המתקדמות של סוקודו משפר את אחידות התבנית המוטבעת על פרוסות הסיליקון - ומאפשר ליצרני השבבים לעמוד באתגרים של המשך מזעור התהליך בנפח גבוה של ייצור.
תהליך הפוטו-ליתוגרפיה הוא תהליך מפתח בתעשיית המוליכים למחצה, במסגרת התהליך מוטבעת תבנית המעגל על פרוסת הסיליקון. בתהליך זה נקבע בין השאר רוחב הקו המינימלי המוטבע על הפרוסה - פרמטר קריטי בתהליך המזעור של מוליכים למחצה. מערכות מדידה מאפשרות לבקר את רוחב הקווים על הפרוסה ובקרה על התהליך כולו.
אבי מגיד, סמנכ"ל עסקי בכיר בנובה, אמר כי "מערכות ה-RF3 של סוקודו משלבות יתרונות טכנולוגיים משמעותיים לפוטו-ליתוגרפיה, ביניהם: מהירות גבוהה, אמינות ואחידות רוחב הקווים בתבנית המודפסת".
"העבודה המשותפת עם סוקודו משלימה את הפתרון המוצע ללקוח בתחום המטרולוגיה ומאפשרת בקרה טובה יותר על רוחב הקווים המודפסים על הפרוסה. שיתוף פעולה זה הוא צעד ראשון לקראת הטמעתן של מערכות Integrated Metrology בתהליך הפוטו-ליתוגרפיה", הוסיף מגיד.
מניית החברה נסחרת כעת במחיר של 2.48 דולרים, המשקף לחברה שווי של 47 מיליון דולר. במהלך 12 החודשים האחרונים איבדה מניית החברה 17.5% מערכה.
לפני כשבוע דיווחה החברה על הכנסות של 16 מיליון דולר לרבעון הרביעי של 2007 ועל הפסד נקי של 700 אלף דולר, או 4 סנטים למניה, באותו רבעון.
נובה פיתחה מערכת למדידה של הטבעה על פרוסות סיליקון כחלק אינטגרלי בתהליך הייצור
שמואל שוסטר
26.2.2008 / 16:58