נובה עשויה להירכש ע"י ק.ל.א טנכור האמריקאית

מאת יורם גביזון

"לפי שעה אין אינדיקציות לעומק השפל ועד מתי הוא יימשך", אומר ד"ר גיורא דישון, מנכ"ל חברת נובה , המייצרת מערכות מדידה לתעשיית המוליכים למחצה. כשכמה מיצרניות המוליכים למחצה מדווחות על ירידה של 50% בצבר ההזמנות ובאחרות יורד צבר העבודות לאפס, אפשר להעריך שענף המוליכים למחצה עומד בפני ירידה חדה בהשקעות בציוד.

המשבר בענף המוליכים למחצה הוא הבעיה המרכזית של נובה, אך לא היחידה. חברת KLA-TENCOR, המפתחת ומייצרת מערכות בקרה לתהליכי ייצור בתעשיית המוליכים למחצה, הקימה קו ייצור למערכות בקרת תהליכי ליטוש מכניים כימיים (CMP), של שכבות נחושת על גבי פרוסות סיליקון. פיתוח מערכות אלה הוא תחום פעילותה המרכזי של נובה, כך שכניסת KLA עלולה לאיים עליה ישירות. ההשקעה של KLA, המחזיקה בנתח של 50% מהשוק למוצרי מדידה ובקרה, היא גם הודאה בהצלחתה של נובה לחזות את מגמת השוק.

נובה פיתחה נישה של מערכות מדידה אופטיות לאחד מתהליכי הייצור של המעגלים המודפסים, הקרוי CMP - Chemical Mechanical Polishing. התהליך כולל שיוף שכבת המבודד המונחת על שכבת הטרנזיסטור, כדי ליצור משטח חלק לקראת הנחת השכבות הבאות.

יתרונה המרכזי של המערכת שפיתחה נובה, לעומת מערכות מתחרות כמו זו של KLA-TENCOR, טמון בשילובה בתוך ציוד הייצור. מדידת עובי השכבות מתבצעת במערכת של נובה מבלי להוציא את פרוסת הסיליקון מתהליך הייצור. המערכות של KLA הן מערכות נפרדות (Stand-Alone) , המחייבות את יצרן המוליכים המודפסים לעצור את תהליך הייצור, להוציא מדגם של פרוסות סיליקון ולהעבירן לציוד המדידה.

תהליך הבקרה של KLA, בניגוד לזה של נובה, מצריך השקעות גדולות יותר בחומרה ובתוכנה, והקצאת שטח יקר לטובת חדרים נקיים. כמו כן, התפוקה בקו הייצור קטנה יותר כתוצאה מעצירת התהליך לצורך בקרת איכות.

יתרונות אלה איפשרו לנובה לפתח נישה של 75 מיליון דולר בשנה. סכום זה, כשלעצמו, לא היה מטריד חברה כמו KLA, שמחזור מכירותיה הוא 1.5 מיליארד דולר בשנה, אילולא איתרה החברה מגמה.

"השוק זז לכיוון של מערכות מדידה אינטגרליות (IPC), ואם השוק זז לשם, גם KLA זזה לשם", אמר מנכ"ל KLA-TENCOR ישראל, אבי כהן. החברה העולמית, השולטת ב-50% מהשוק העולמי לבקרת תהליכים בייצור מוליכים למחצה, הקימה את החברה הבת בישראל לפני 15 שנה, כדי לפתח מערכות לבדיקת מיקום שכבות המעגלים המודפסים זו מעל זו.

KLA ישראל הגיעה למחזור מכירות של 100 מיליון דולר, ולנתח של 75% מהשוק העולמי. ואולם הקבוצה האמריקאית הגיעה למסקנה כי לא תוכל לשמור על נתח השוק שלה, אם לא תספק את הצורך שאיתרו נובה וכמה חברות אחרות המתחרות בה, כמו NANOMETRICS ו-DNS.

"נובה הקדימה אותנו בתחום ה-CMP, אך איננו מתכוונים להישאר מחוץ למשחק. ניכנס לכל דבר בתחום המדידה והבקרה שבו יש לנו טכנולוגיה ויכולת, ובהחלט נתחרה בנובה", אמר כהן.

הוא צופה כי בעקבות KLA גם חברות אחרות, דוגמת אפלייד מטריאלס, ייכנסו לתחום מערכות המדידה האינטגרליות לתהליך הייצור.

כדי להציב תחרות יעילה מתכוונת KLA לעלות על הגל הבא: מעבר לשימוש בנחושת במקום אלומיניום כשכבה מוליכה המחברת בין הטרנזיסטורים. הנחושת מוליכה טוב יותר ומאפשרת להגדיל את מספר המעגלים המודפסים בשכבה. כמה מהיצרנים הגדולים של המוליכים למחצה, דוגמת AMD ,IBM ומוטורולה, כבר עשו את המעבר לנחושת, שמהווה כיום כ-15%-20% מהשוק, להערכת ד"ר גיורא דישון, מנכ"ל חברת נובה.

כהן מעריך כי יצרנים נוספים יעברו לתחום זה כשיחל השימוש במוליכים שעוביים 0.13 מיקרון ב-2002, ומעבר גדול יותר עם תחילת השימוש במוליכים שעוביים 0.1 מיקרון שנתיים לאחר מכן. לדבריו, לנוכח המזעור, שלקראתו מתקדם השוק, יהיה קשה לעבוד עם אלומיניום.

דישון אינו מודאג מהשפעת קו הייצור החדש של KLA על מחזור המכירות של נובה: "המוצר שלהם מספק אינדיקציה לנקודת הסיום של תהליך הליטוש, ואינו תחליף לבקרה על טיב התהליך".

בנוסף, כ-50% משוק מכונות הליטוש, הנאמד ב-2 מיליארד דולר, מוחזק על ידי אפלייד מטריאלס, המתחרה ב-KLA ישירות על שוק תחנות בקרת התהליך, כך שהסיכויים שאפלייד תקנה מהם אינם גדולים.

לדעת דישון, מגבלה זו היא אחד הגורמים העיקריים המכשילים את רכישת נובה, שהיא חברת נישה, על ידי KLA, המפתחת ומשווקת סל מוצרים רחב יותר. "זה מסוג הדברים שאנשים עם היגיון בריא שואלים מדוע אינו קורה", אמר דישון.

דישון אמר כי "בעיקרון זהו מהלך טבעי, אם כי מורכב. היו כמה סיבובים של שיחות על שיתוף פעולה. מדי פעם זה עולה ונופל מכל מיני סיבות. ראשית, מפני שהמודל העסקי של חברה שמייצרת מערכות מדידה אינטגרליות למערכות הייצור שונה מזה של חברה כמו KLA, שמייצרת מערכות מדידה נפרדות, וכל פעולה של מיזוג ביניהן כרוכה בסיכון כלכלי".

"כך לדוגמה", אמר דישון, "רכישת נובה על ידי KLA עלולה לחסום בפניה את השוק של אפלייד מטריאלס. היות ש-30%-40% מהמחזור שלנו קשור באפלייד, עלול שיעור ניכר מהמכירות לרדת לטמיון, ולשפיע על הערכת השווי".